آنالیز XRF یک روش تحلیلی برای تعیین ترکیب شیمیایی است. ماده مورد نظر می‌تواند به صورت جامد، مایع، پودر، فیلتر شده یا هر شکل دیگری باشد. از آنالیز XRF همچنین گاهی اوقات برای تعیین ضخامت و تعیین ترکیب لایه‌‌ی پوشش داده شده بر روی سطح استفاده می شود. این روش سریع، دقیق و غیر مخرب است و معمولا به کمترین آماده سازی نمونه احتیاج دارد. کاربردهای این روش بسیار گسترده و در موارد مختلف شامل فلز، سیمان، پلیمر، پلاستیک، صنایع غذایی، مواد معدنی، کانی شناسی و زمین شناسی کاربرد دارد.